深圳市普拉斯瑪自動化設備有限公司
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等離子清洗機 BP-4
自動等離子體清洗機
Item | Specification | Remark |
制程規(guī)劃 | 自動將產品或載盤，放入腔體中的電極架中，高頻電源系統(tǒng)，對于擺放在電極架拖盤上或是料盒中的產品進行真空等離子表面改質 | |
傳送方式 | 自動上下料 | 可放置4-5個料盒/CT約40秒 |
腔體 | 材質：AL6061 | |
內腔容積約20L | ||
強化安全玻璃真空腔體窗口 ，抗紫外線及高頻輻射 | ||
真空泵 | 真空泵萊寶D-60T | |
制程壓力10~100pa之間 | ||
壓力量測范圍10-3~1 torr | ||
制程氣體 | 混和氣體：95% Ar+5%H2 | 氣體用量約：5~40sccm之間 |
質流量控制SEVEN START D70 | ||
等離子電源 | 型式：射頻RF Generator（含自動匹配器） | |
頻率：13.56MHz | ||
功率：0-600Watt | ||
等離子效應 | 載盤（電極）間互相電容感應式產生區(qū)域等離子 | |
氣體流場分布 | 門板前端進氣口均勻導入制程氣體 | |
有效層流，提升等離子均勻度，由腔體后方排氣 | ||
安全聯鎖 | 當腔體門打開，真空PUMP閥件關閉與RF電源無法啟動 | |
緊急停止開關EMS | 使用鎖定類型緊急停止開關和放置在方便操作的區(qū)域 | |
控制 | PLC+威倫觸摸屏/3級密碼 |
項目 | 規(guī) 格 | |
電 力 | 相 （Phase）/ 線 （Line） | 3相4線 |
Power supply | 電壓（Volt)）/ 頻率（Hz） | 380 V/ 50Hz |
功率（Power） | 2.5KVA | |
Grounding | ||
壓縮空氣 | CDA | 破真空用/氣動組件需求 |
（CDA） | 壓力 Pressure （kg/cm2） | 6 |
流量 flow rate （LPM） | 20 | |
管徑 Pipe dia.（mm） | 外徑6mm內徑4mm | |
排 氣 | 內循環(huán) | 安裝原廠油氣過濾與回收套件 |
Exhaust | 管徑 Pipe dia.（inch） | DN40 |
外型尺寸 （Outline） | 寬*高*深（mm） | 約1100*1600*1060（含三色燈） |
運轉重量（kg） | 約800 KGW | |
