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真空等離子清洗機

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瀘州等離子清洗機

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瀘州等離子清洗機

  • 所屬分類:瀘州等離子清洗機

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  • 發(fā)布日期:2020/06/17
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詳細介紹

等離子清洗機  BP980

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等離子清洗設(shè)備

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設(shè)備規(guī)格:

Item

Specification

Remark

制程規(guī)劃

手動將產(chǎn)品或載盤,放入腔體中的多層電極架中,高頻電源系統(tǒng),對于擺放在電極架拖盤上或是料盒中的產(chǎn)品進行真空等離子表面改質(zhì)


傳送方式

手動上下料(料盒)

可放置12個料盒/CT約400秒

腔體

材質(zhì):SUS 304



內(nèi)腔容積約110L(W:450mm*H450mm*D540mm)



強化安全玻璃真空腔體窗口 ,抗紫外線及高頻輻射


真空泵

真空泵萊寶D-60T+鮑斯BSJ-70羅茨泵

雙級泵組


制程壓力10~100pa之間



壓力量測范圍10-3~1   torr


制程氣體

混和氣體:95%   Ar+5%H2

氣體用量約:5~40sccm之間


質(zhì)流量控制SEVEN START D70


等離子電源

型式:射頻RF   Generator(含自動匹配器)



頻率:13.56MHz



功率:0-600Watt


等離子效應(yīng)

載盤(電極)間互相電容感應(yīng)式產(chǎn)生區(qū)域等離子


氣體流場分布

門板前端進氣口均勻?qū)胫瞥虤怏w



有效層流,提升等離子均勻度,由腔體后方排氣


安全聯(lián)鎖

當腔體門打開,真空PUMP閥件關(guān)閉與RF電源無法啟動


緊急停止開關(guān)EMS

使用鎖定類型緊急停止開關(guān)和放置在方便操作的區(qū)域


控制

PLC+威倫觸摸屏/3級密碼



廠務(wù)需求:

項目

規(guī) 格

電  力
  Power   supply

相 (Phase)/ 線 (Line)

3   / 4

電壓(Volt))/ 頻率(Hz)

380   V/ 50Hz

功率(Power)

4.5KVA

Grounding

壓縮空氣
  (CDA)

CDA

破真空用/氣動組件需求

壓力   Pressure (kg/cm2)

6

流量   flow rate (LPM)

80

管徑   Pipe dia.(mm)

外徑6mm內(nèi)徑4mm

排   氣
  Exhaust

內(nèi)循環(huán)

安裝原廠油氣過濾與回收套件

管徑   Pipe dia.(inch)

DN40

外型尺寸                   (Outline)

寬*高*深(mm)

約1100*1600*1060(含三色燈)

運轉(zhuǎn)重量(kg)

約550   KGW


軟件應(yīng)用:

1 整合方式PLC程序控制

2 觸控式顯示面板控制(臺灣威倫)。

3 最大5組製程參數(shù)預(yù)設(shè)及儲存。


受訓內(nèi)容: (先期廠商端簡易驗收/廠商端受訓)

1 訓練程序表:安裝,校正,操作,故障原因追查,保養(yǎng)及維修。 

2 訓練時間及地點:在安裝機地點或客戶端4小時教育訓練。


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