制程規(guī)劃

手動(dòng)將產(chǎn)品或載盤(pán)，放入腔體中的多層電極架中，高頻電源系統(tǒng)，對(duì)于擺放在電極架拖盤(pán)上或是料盒中的產(chǎn)品進(jìn)行真空等離子表面改質(zhì)

傳送方式

手動(dòng)上下料（料盒）

可放置12個(gè)料盒/CT約400秒

腔體

材質(zhì)：SUS 304

內(nèi)腔容積約110L（W:450mm*H450mm*D540mm）

強(qiáng)化安全玻璃真空腔體窗口 ，抗紫外線及高頻輻射

真空泵

真空泵萊寶D-60T+鮑斯BSJ-70羅茨泵

雙級(jí)泵組

制程壓力10~100pa之間

壓力量測(cè)范圍10-3~1   torr

制程氣體

混和氣體：95%   Ar+5%H2

氣體用量約：5~40sccm之間

質(zhì)流量控制SEVEN START D70

等離子電源

型式：射頻RF   Generator（含自動(dòng)匹配器）

頻率：13.56MHz

功率：0-600Watt

等離子效應(yīng)

載盤(pán)（電極）間互相電容感應(yīng)式產(chǎn)生區(qū)域等離子

氣體流場(chǎng)分布

門(mén)板前端進(jìn)氣口均勻?qū)胫瞥虤怏w

有效層流，提升等離子均勻度，由腔體后方排氣

安全聯(lián)鎖

當(dāng)腔體門(mén)打開(kāi)，真空PUMP閥件關(guān)閉與RF電源無(wú)法啟動(dòng)

緊急停止開(kāi)關(guān)EMS

使用鎖定類型緊急停止開(kāi)關(guān)和放置在方便操作的區(qū)域

控制

PLC+威倫觸摸屏/3級(jí)密碼

電  力
  Power   supply

相 （Phase）/ 線 （Line）

3   / 4

電壓（Volt)）/ 頻率（Hz）

380   V/ 50Hz

功率（Power）

4.5KVA

Grounding

壓縮空氣
  （CDA）

CDA

破真空用/氣動(dòng)組件需求

壓力   Pressure （kg/cm2）

6

流量   flow rate （LPM）

80

管徑   Pipe dia.（mm）

外徑6mm內(nèi)徑4mm

排   氣
  Exhaust

內(nèi)循環(huán)

安裝原廠油氣過(guò)濾與回收套件

管徑   Pipe dia.（inch）

DN40

外型尺寸                   （Outline）

寬*高*深（mm）

約1100*1600*1060（含三色燈）

運(yùn)轉(zhuǎn)重量（kg）

約550   KGW