深圳市普拉斯瑪自動化設備有限公司
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等離子清洗機 BP-4
Item | Specification | Remark |
制程規(guī)劃 | 自動將產(chǎn)品或載盤，放入腔體中的電極架中，高頻電源系統(tǒng)，對于擺放在電極架拖盤上或是料盒中的產(chǎn)品進行真空等離子表面改質 | |
傳送方式 | 自動上下料 | 可放置4-5個料盒/CT約40秒 |
腔體 | 材質：AL6061 | |
內腔容積約20L | ||
強化安全玻璃真空腔體窗口 ，抗紫外線及高頻輻射 | ||
真空泵 | 真空泵萊寶D-60T | |
制程壓力10~100pa之間 | ||
壓力量測范圍10-3~1 torr | ||
制程氣體 | 混和氣體：95% Ar+5%H2 | 氣體用量約：5~40sccm之間 |
質流量控制SEVEN START D70 | ||
等離子電源 | 型式：射頻RF Generator（含自動匹配器） | |
頻率：13.56MHz | ||
功率：0-600Watt | ||
等離子效應 | 載盤（電極）間互相電容感應式產(chǎn)生區(qū)域等離子 | |
氣體流場分布 | 門板前端進氣口均勻導入制程氣體 | |
有效層流，提升等離子均勻度，由腔體后方排氣 | ||
安全聯(lián)鎖 | 當腔體門打開，真空PUMP閥件關閉與RF電源無法啟動 | |
緊急停止開關EMS | 使用鎖定類型緊急停止開關和放置在方便操作的區(qū)域 | |
控制 | PLC+威倫觸摸屏/3級密碼 |
項目 | 規(guī) 格 | |
電 力 | 相 （Phase）/ 線 （Line） | 3相4線 |
Power supply | 電壓（Volt)）/ 頻率（Hz） | 380 V/ 50Hz |
功率（Power） | 2.5KVA | |
Grounding | ||
壓縮空氣 | CDA | 破真空用/氣動組件需求 |
（CDA） | 壓力 Pressure （kg/cm2） | 6 |
流量 flow rate （LPM） | 20 | |
管徑 Pipe dia.（mm） | 外徑6mm內徑4mm | |
排 氣 | 內循環(huán) | 安裝原廠油氣過濾與回收套件 |
Exhaust | 管徑 Pipe dia.（inch） | DN40 |
外型尺寸 （Outline） | 寬*高*深（mm） | 約1100*1600*1060（含三色燈） |
運轉重量（kg） | 約800 KGW | |
