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真空等離子清洗機

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渭南自動等離子清洗機

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渭南自動等離子清洗機

  • 所屬分類:渭南等離子清洗機

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  • 發(fā)布日期:2020/11/08
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詳細介紹

等離子清洗機  BP-4

自動等離子清洗機自動等離子清洗機




自動等離子清洗機

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自動等離子清洗機



Item

Specification

Remark

制程規(guī)劃

自動將產(chǎn)品或載盤,放入腔體中的電極架中,高頻電源系統(tǒng),對于擺放在電極架拖盤上或是料盒中的產(chǎn)品進行真空等離子表面改質(zhì)


傳送方式

自動上下料

可放置4-5個料盒/CT約40秒

腔體

材質(zhì):AL6061


內(nèi)腔容積約20L


強化安全玻璃真空腔體窗口   ,抗紫外線及高頻輻射


真空泵

真空泵萊寶D-60T


制程壓力10~100pa之間


壓力量測范圍10-3~1   torr


制程氣體

混和氣體:95% Ar+5%H2

氣體用量約:5~40sccm之間

質(zhì)流量控制SEVEN START D70


等離子電源

型式:射頻RF Generator(含自動匹配器)


頻率:13.56MHz


功率:0-600Watt


等離子效應(yīng)

載盤(電極)間互相電容感應(yīng)式產(chǎn)生區(qū)域等離子


氣體流場分布

門板前端進氣口均勻?qū)胫瞥虤怏w


有效層流,提升等離子均勻度,由腔體后方排氣


安全聯(lián)鎖

當腔體門打開,真空PUMP閥件關(guān)閉與RF電源無法啟動


緊急停止開關(guān)EMS

使用鎖定類型緊急停止開關(guān)和放置在方便操作的區(qū)域


控制

PLC+威倫觸摸屏/3級密碼



項目

規(guī) 格

電  力

相 (Phase)/ 線 (Line)

3相4線

Power supply

電壓(Volt))/ 頻率(Hz)

380 V/ 50Hz


功率(Power)

2.5KVA


Grounding

壓縮空氣 

CDA

破真空用/氣動組件需求

(CDA)

壓力 Pressure (kg/cm2)

6


流量 flow rate (LPM)

20


管徑 Pipe dia.(mm)

外徑6mm內(nèi)徑4mm

排   氣

內(nèi)循環(huán)

安裝原廠油氣過濾與回收套件

Exhaust

管徑 Pipe dia.(inch)

DN40

外型尺寸                   (Outline)

寬*高*深(mm)

約1100*1600*1060(含三色燈)

運轉(zhuǎn)重量(kg)

約800 KGW


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