目前已經(jīng)廣泛運用的清洗辦法首要有濕法清洗和干法清洗。濕法清洗的局限性非常大，從對環(huán)境的影響、原材料的耗費及未來的開展考慮，干法清洗要明顯優(yōu)于濕法清洗。其中開展較快和優(yōu)勢明顯的是等離子體清洗。等離子體是指電離氣體，是電子、離子、原子、分子或自由基等粒子組成的集合體 。清洗時高能電子碰撞反應氣體分子，使之離解或電離，運用產(chǎn)生的多種粒子轟擊被清洗表面或與被清洗表面產(chǎn)生化學反應，從而有用地根除各種污染物；還能夠改進材料本身的表面功用，如前進表面的潤濕功用和改進膜的粘著力等，這在許多運用中都是非常重要的。經(jīng)等離子清洗后器件表面是枯燥的，不需要再處理，能夠前進整個工藝流水線的處理效率；能夠使操作者遠離有害溶劑的損傷；等離子能夠深入到物體的微細孔眼和凹陷的內部完結清洗，因而不需要過多考慮被清洗物件的形狀；還能夠處理各種質料，特別合適不耐熱以及不耐溶劑的質料。這些利益，都使等離子體清洗得到廣泛重視。

等離子清洗分為化學清洗、物理清洗及物理化學清洗。針對不同的清洗對象可挑選O2、H2和Ar等藝氣體進行短時間的表面處理。

1.1 化學反應為主的清洗

運用等離子體里的高活性自由基與材料表面的有機物等做化學反應，又稱PE。選用氧氣進行清洗，使非揮發(fā)性的有機物變成易揮發(fā)的形狀，產(chǎn)生二氧化碳、一氧化碳和水?；瘜W清洗的利益是清潔速度高、挑選性好和對清洗有機污染物比較有用， 首要缺點是生成的氧化物可能在材料表面再次形成。在引線鍵合工藝中，氧化物是最不希望有的， 這些缺點能夠通過恰當挑選工藝參數(shù)進行防止。

1.2 物理反應為主的清洗

運用等離子體里的離子做純物理的碰擊，把材 料表面附著的原子打掉，也稱為濺射腐蝕（SPE）。 選用氬氣進行清洗，氬離子以足夠的能量轟擊器 件表面，碰擊力足以去除任何塵垢。聚合物中的 大分子化學鍵別離成小分子而汽化，通過真空泵排 出。一同通過氬等離子清洗后，能夠改動材料表面 的微觀形狀，使材料在分子級范圍內變得更加“粗 糙”， 可大幅改進表面活性，前進表面的粘結性 能。氬等離子的利益是收拾材料表面不會留下任何 氧化物。缺點是可能產(chǎn)生過量腐蝕或污染物顆粒重 新積累在其他不希望的區(qū)域，但是這些缺點可通過 細調工藝參數(shù)得到操控。

1.3 物理化學反應一同存在的清洗

反應中物理反應與化學反應均起重要作用的 清洗。 如選用Ar和O2的混合氣體進行在線式等離子清洗過程時，反應速率比單獨運用Ar或O2都要快。氬離子被加快后，產(chǎn)生的動能又能前進氧離子的反應才干，因而用物理化學辦法可根除污染較為嚴峻的材料表面。